电子发烧友网报道（文/吴子鹏）半导体设备被誉为“工业制造皇冠上的明珠”。当然，对于半导体设备而言，大部分人都只了解八大工艺相关的设备。实际上，除此之外，随着半导体工艺日趋复杂，还有一些设备也是非常关键的，比如AMHS设备，帮助提升半导体制造工厂稼动率、良率和生产效率。

AMHS是英语Automated Material HandlingSystem的缩写，中文译为“自动物料搬运系统”。AMHS并不是指单独某一款设备，而是指由传输设备、存储设备、净化设备和控制软件等软硬件共同组成的系统。 过去很长一段时间，AMHS由国际厂商垄断。近年来，以弥费科技为代表的国内厂商在这个领域逐渐形成突破。弥费科技董事长、CEO缪峰表示，弥费科技深耕晶圆厂AMHS已有8-9年的时间，在国内已经成为这一赛道的领跑者。国产晶圆厂AMHS出货并交付使用，弥费科技占比超过90%。

弥费科技董事长、CEO缪峰

12月26日，弥费科技临港生产基地暨全球研发中心启用仪式成功举办，标志着弥费科技发展进入崭新阶段。缪峰指出，公司的目标是成为全球TOP 3级别的AMHS供应商。

年产能可满足2-3个整厂AMHS需求

AMHS由传输设备、存储设备、净化设备和控制软件等软硬件共同组成，实际上这里面的设备类别还能够进一步细化，比如传输设备可分为天车OHT、协作式机器人AMR等；存储设备可分为Foup&Reticle Stocker、Reticle Cabinet、NTB和OHB等；净化设备可分为TLP、OPS、FPS等。 GIR (Global Info Research)的统计数据显示，2021年全球半导体加工用AMHS市场规模大概为24亿美元，预计到2028年达到36亿美元，其间年复合增长率约为6%。 缪峰介绍说，弥费科技临港生产基地具备AMHS整套的供应能力。以40K 12吋整厂AMHS为例，产品需求为OHT大概256台，STK大概30台，OHBP/TLP大概是2000套。弥费科技临港生产基地的年产能可满足2-3个整厂AMHS需求。 据悉，弥费科技临港生产基地暨全球研发中心占地约8000㎡，包含洁净室、生产线、研发Lab、仓库，并构建了以天车为核心的洁净室AMHS整体解决方案2000㎡标准化示范线。这一基地将成为弥费科技提升产能、优化产品质量、加强创新能力、研发尖端技术、培育专业人才、以及拓展全球市场的坚实基石。 缪峰称，弥费科技致力于AMHS的研发、生产与制造，经过多年的持续创新，推出了以天车核心传输设备、协作式机器人、晶圆存储设备、光罩存储设备、缓冲存储设备、上下料口净化设备等三十余种AMHS设备和软件调度系统为代表的产品。这些产品已成功交付给30多家国内外晶圆厂客户，同时积累了丰富的技术储备和项目经验。 目前，弥费科技已经构建出一个以临港为总部和生产基地，覆盖全国、辐射全球的全球化体系。在全球化战略上，缪峰透露，公司目前已经有3-4家海外客户，围绕海外业务布局，弥费科技将会在马来西亚构建一个组装工厂， 亿配芯城 更好地满足海外客户的供应链需求。

坚持产品领先的研发策略

弥费科技临港生产基地暨全球研发中心启用仪式上，记者参观了研发实验室和工厂。随后，记者采访了缪峰和弥费科技CTO李宏伟博士，针对公司产品研发和后续发展进行了交流。 作为国内极少数掌握AMHS核心技术自主知识产权的企业，弥费科技不仅成功打破国际厂商在这一细分领域的垄断，实现了AMHS产品关键技术指标对标国际先进水平，并已发展为能够为半导体晶圆厂客户提供国产替代化、软硬件成套化、产品客制化、供应链本土化的AMHS整体解决方案企业。 李宏伟表示，弥费科技的研发目标是非常清晰的，就是产品领先。AMHS是一个软硬件融合的平台。在这个平台下，弥费科技定义了六大关键技术，分别是机器人技术、运动控制技术、嵌入式控制技术、无尘系统、多智能体调度系统和数字孪生技术。 “这些关键技术都是偏应用的，不是偏向理论基础的，因此弥费科技的研发并非从零起步，而是基于流行的标准、开源的框架，进而让我们在六大关键技术领域的研发方面具有一定的时间优越性。”李宏伟提到，“我们的研发永远是正向开发，不去做逆向工程、做模仿。” 弥费科技的研发策略是研究一代、储备一代、开发一代、部署一代： ·研究一代：主要致力于前沿技术研究，也就是三年之后AMHS要用到的技术； ·储备一代：当一项技术已经比较成熟，会应用到样机模块上，应用于明年的产品上； ·开发一代：今年开发的产品将会在明年进行上市； ·部署一代：已经上市的产品要进行工程部署，进行产品迭代。 芯片制造工艺制程越先进，工序就会越多越复杂，因此对AMHS系统的要求就更高。弥费科技也在持续提升AMHS的部署能力。根据李宏伟的介绍，系统控制能力主要和算力、算法、数据相关。在算力方面，弥费科技已经着手搭载基于ARM架构的多核异构算力产品，带来数倍的算力提升；在算法方面，弥费科技天狼星算法正在做第二代研发，会借助强化学习的算法，让路径搜索更加合理、高效；在数据方面，弥费科技不断提升的市场占有率就是宝贵的数据资源。 关于产品布局策略，缪峰指出，弥费科技除了在前道工序AMHS领域大力投资和布局外，后道工序所需的AMHS会是一个巨大的蓝海市场。和前道工序厂商需要大而全的系统不同，后道工序相关的厂商会分步骤实现自动化升级。目前，后道工序AMHS市场还处于空白，也缺乏行业标准。为了更好地开拓后道工序AMHS市场，弥费科技也在积极接触领先的封测大厂，携手共同编制一些适用于后道工序AMHS市场的标准。

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