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电子发烧友网报道（文/吴子鹏）半导体设备被誉为“工业制造皇冠上的明珠”。当然，对于半导体设备而言，大部分人都只了解八大工艺相关的设备。实际上，除此之外，随着半导体工艺日趋复杂，还有一些设备也是非常关键的，比如AMHS设备，帮助提升半导体制造工厂稼动率、良率和生产效率。 AMHS是英语Automated Material HandlingSystem的缩写，中文译为“自动物料搬运系统”。AMHS并不是指单独某一款设备，而是指由传输设备、存储设备、净化设备和控制软件等软硬件共同组成的系统。过去很长